电子科学与工程学院半导体特性测试仪、探针台釆购招标公告
项目名称：
标段一：电子科学与工程学院半导体特性测试仪采购
标段二：电子科学与工程学院探针台采购
项目地点：东南大学四牌楼校区
项目概况：
标段一：电子科学与工程学院采购半导体特性测试仪一台
1:主要用途：半导体特性测试仪用于测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能，提供测试报告，图形，为设计人员提供数据参考。支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流■电压(I・V)测量，准静态和屮频电容.电压(c・v)测量，n寸域测量等。
2：系统总体要求：
2.1要求系统具备4个能分辨到O.lfA的SMU单元。
2.2要求系统具备一个C・V测试单元。
3.系统SMU单元技术要求：
3.1数量为4个；SMU的电流测量范围为O.lfA-lOOmA；精度10fA。
3.2SMU单元其他通用技术指标：最大电床源为210V,电床源设定最小分辨率
(ForceRcsolution)5pV；是完全保护的四线测量结构；配备相应的三同轴电缆线。
4.系统C・V单元技术要求：
4.1频率范围：lKHz-5MHzo
4.2频率精度：±0.1%。
4.3偏置电压:至少达到±60Vo
4.4系统具备C・V参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属■半导体功函数、德拜长度、体电势等参数。
4.5包含C-V和I・V测量间H动切换模块：可实现C-V和I・V测量间H动切换,不会影响测量精度。
5.耍求半导体特性分析系统主机内置计算机配置：计算机配置如下：(1) CPU为单核3G或双核1.5G以上。
(2) DDR内存1G以丄。
(3) 200GB以上硬盘。
(4) DVD-刻录机，3个以上USB接口，内置100/10MB以太网络接口。
(5)微软WindowsXP或Windows7操作系统。
6.系统软件要求：
6.1所用分析软件及后续的软件升级均为免费，数据分析和创建应用测试可在离线或在线模式下进行。
6.2可根据被测器件类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环
控制功能。
6.3提供多种常用的纳米结构分析库，支持多种纳米结构的电学性能特性分析。
6.4自动保存测试数据及设置，并可以各种格式实吋导出到与仪表连接的任何驱
动器，包括网络驱动器；自动实吋图形数据分析；同一图形上显示多个测量结果
用于数据比较。
标段二：电子科学与工程学院采购探针台一台
1. 主要用途：探针台测试系统用于测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能。
2. 系统构成：测试台、探针座和探针、连接线。
3. 测试台主要要求
1）样詁台尺寸：6inch（兼容5寸，4寸…至单芯片）
2）样站台平整度：＜10pm
3）样品台可360度旋转。
4） 样站台x,y轴移动精度:lMm,具备有口后扩展研发射频项H的能力； Z轴可运动，微调分辨率高于1mm/转。
5）样詁载台可以整体拉出（具备Rollout功能），便于放置和取出晶圆。
6） 样站台可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关，尽可能多的
信号接口，平台上可放置尽可能多的针座。
4. 探针座、探针及连接线要求
1）手动控制探针，探针座精确度：±1|1叫重复性：±lpm
2）能与Keithley4200-SCS系统或AgilentB1500A系统半导体综测仪兼容,
配置可以实现4探针P1V测试的探针和电缆
3）探针座平台在X-Y-Z运动范围移动
4）适合测量精度的探针，针尖半径0.5um,探针漏电流VlOfA.
5）电缆：DCIV/CV測試用三轴电缆（长度不短于1.5m）
6）其它
A.左右手调节按钮可根据客户要求
B.针座摆头可水平调整180度/垂直调整120度
C.稳定度佳，有效防止backlash
5. 显微镜和视像
1）显微镜放大倍率20到400倍。
2）配置高分辨率CCD摄像头
3）配置光纤光源
6.屏蔽箱：
1） 配置屏蔽暗箱、防震台，满足探针台性能测试需求。
2） 间接隔离防震设计，不影响探针台测量精度。
投标单位条件
1、报名单位需要提供生产厂商销售代理授权委托书。
2、法人营业执照副本。
3、税务登记证副本。
4、组织机构代码证。
上述文件除提供原件外，另须提供一套原件复印件并加盖公章（请在封面注明:项H名称、公司信息、联系人、联系电话）。
（一套报名时提交，另备一套须放在投标文件中）授权委托书原件报名时带来核对，原件放在投标文件屮。
报名及资格预审截止时间：2013年6月24口下午4：00o
报名及资格预审材料送审地点：南京市四牌楼2号东南大学
河海院一•楼招投标管理办公室105室
联系电话：025・83795585
东南大学招投标管理办公室
2013.6.18