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多晶硅铸锭炉的加热系统[实用新型专利]

2023-03-30 来源:意榕旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:多晶硅铸锭炉的加热系统专利类型:实用新型专利发明人:蒋兴贤

申请号:CN201521138467.9申请日:20151231公开号:CN205443510U公开日:20160810

摘要:本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的加热系统,所述铸锭炉包括:炉体,炉体上设置有抽气孔,炉体内设置有保温护罩,保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于石墨护罩底部的散热平台;加热系统还包括对应坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器,坩埚的中部设置有对应中心平板加热器的中心平板加热槽,中心平板加热器设置在所述中心平板加热槽内。该实用新型升级改造后的加热系统由于在坩埚的中间位置引入平板加热,即能够实现中间位置硅料的快速加热,且由于平板结构设置而减少了后续切割余料的产生,极大提高了生产效率及产品合格率。

申请人:常州兆晶光能有限公司

地址:213100 江苏省常州市武进高新技术产业开发区西湖路150号

国籍:CN

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