专利名称：一种多角度半导体检测设备专利类型：实用新型专利发明人：马迪
申请号：CN201821736879.6申请日：20181025公开号：CN209028104U公开日：20190625
摘要：本实用新型公开了一种多角度半导体检测设备，涉及检测设备技术领域。本实用新型包括基座：基座一表面固定连接有若干调节板；若干调节板一表面均开设有滑槽；滑槽周侧面滑动连接有竖向齿条板；竖向齿条板一表面固定连接有支撑板；支撑板一表面开设有条形贯穿孔；条形贯穿孔两相对表面均开设有调节槽；调节槽周侧面滑动连接有横向齿条板；横向齿条板一表面固定连接有活动座。本实用新型通过万向连接头、球头夹具、万向球的设计，使该检测设备能够从多个角度对半导体各个侧面进行全方位的观测，且在观测时，观测板和SQUID探头能进行多角度的调整，解决现有的检测设备观测角度受到限制的问题。
申请人：江苏友迪激光科技有限公司
地址：221700 江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园标准厂房5号
国籍：CN
代理机构：南京聚匠知识产权代理有限公司
代理人：孙乔乔
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