专利名称：光源装置以及使用该光源装置的曝光装置专利类型：发明专利
发明人：白井哲也,清木芳彦,中川敦二申请号：CN200710148933.5申请日：20070912公开号：CN101277566A公开日：20081001
摘要：本发明提供一种具有放电灯并且可以在长时间内射出均匀光量的光源装置以及使用该光源装置的曝光装置，该光源装置(10)具备：灯单元(18)，具有：多个放电灯(30)；和反射器(31)，设置在各个放电灯(30)上，向相同的方向反射从各个放电灯(30)射出的光；照度计(20)，测定从灯单元(18)射出的光的照度；以及点亮控制装置(22)，具有向放电灯(30)个别地通电或切断通电的功能，在起动时，在切断至少一个备用的放电灯(30)的通电的状态下，使其它放电灯(30)通电，并且通过比较由照度计(20)测定的实际照度与预先设定的适当照度，来判定实际照度的过度或不足，使放电灯(30)通电或者切断通电，以便解除实际照度的过度或不足。
申请人：凤凰电机公司
地址：日本兵库县
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：曲瑞
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