专利名称：铜铟镓硒靶材的制备方法专利类型：发明专利发明人：易鉴荣,唐臻,林荔珊申请号：CN201710298808.6申请日：20170427公开号：CN107142455A公开日：20170908
摘要：本发明公开了一种铜铟镓硒靶材的制备方法，步骤包括：按重量份数比选取铜、铟、镓原料并破碎成粗粉并混合均匀；气流磨制；反应釜中熔炼；制得铜铟镓硒合金；将所述铜铟镓硒合金锭破碎成直径为1～3mm的合金块，置于球磨机内以300～500r/min的转速球磨0.5～1h，获得铜铟镓硒粉末；将铜铟镓硒粉末以一成型机压制为一胚体，进行胚体加压；将加压后的胚体放入脱蜡釜中，脱蜡的方法为以丙烷气体作为加热媒介，并与空气例充分混合、燃烧及转化后，经过喷嘴通入脱蜡釜内，对胚体进行辐射加热脱蜡；将脱蜡后的胚体装入真空热压炉中，热压炉缓慢升温至500～700℃，保持3～5h，再升温至700～800℃，保持2～4h，再缓慢降温至常温，制得铜铟镓硒靶材。本发明缩短了反应时间，利于工业化生产。
申请人：柳州豪祥特科技有限公司
地址：545616 广西壮族自治区柳州市柳东新区官塘创业园研发中心2号楼511号
国籍：CN
代理机构：北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：靳浩
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