专利名称：多层光栅结构专利类型：发明专利
发明人：尹正坤,孙理斌,汪杰,陈远申请号：CN202011636943.5申请日：20201231公开号：CN112649910A公开日：20210413
摘要：本发明提供了一种多层光栅结构。多层光栅结构包括：基底结构；光栅结构，光栅结构与基底结构连接，光栅结构为多个，多个光栅结构间隔设置，光栅结构包括至少两个光栅层，且相邻两个光栅层的折射率不同；其中，光栅结构为倾斜光栅结构，倾斜光栅结构与基底结构之间的夹角小于45°，光栅结构的光栅周期小于1.5倍入射波长。本发明解决了现有技术中光栅结构存在衍射效率不均匀的问题。
申请人：宁波舜宇奥来技术有限公司
地址：315455 浙江省宁波市余姚市阳明街道丰乐路67-69号
国籍：CN
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：刘娜
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