专利名称：一种四（二甲氨基）铪的制备方法专利类型：发明专利
发明人：周黎旸,陈刚,张学良,李军,徐琴琪,樊有辉,陶容,周井
森,宁海水
申请号：CN202011594417.7申请日：20201229公开号：CN112759606A公开日：20210507
摘要：本发明化工领域，具体关于一种四（二甲氨基）铪的制备方法；本发明是在有机溶剂中用二甲基胺和四氯化铪在正丁基锂提供的碱性环境下，由一种冠醚基双金属化物催化发生脱酸反应，合成了四（二甲氨基）铪，本发明制备方法简单，原材料利用率高，反应时间短，产物收率高，纯度高，能够满足铜屏蔽应用中氮化铪膜形成以及HKMG电极制成中对四（二甲氨基）铪化合物的使用需求。
申请人：浙江博瑞电子科技有限公司
地址：324004 浙江省衢州市东南时代城3幢839室
国籍：CN
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