（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201210020423.0 （22）申请日 2012.01.29 （71）申请人 HOYA株式会社
地址 日本东京都
（10）申请公布号 CN102628804B
（43）申请公布日 2016.08.24
（72）发明人 石川晋;园田恒彦;饭塚隆之;田中淳一;吉田光一郎 （74）专利代理机构 北京三友知识产权代理有限公司
代理人 李辉
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
透射率测定装置和透射率测定方法
（57）摘要
本发明提供‑种透射率测定装置和透射
率测定方法，能够抑制由于内部反射光而导致的误差并高精度地对测定对象区域的透射率进行测定。透射率测定装置由以下部件构成：光源装置，其射出被检光；第‑光学系统，其会聚该被检光并在测定对象上形成点；第二光学系统，其对透射过测定对象的被检光进行会聚，形成点的共轭像；光圈，其配置在共轭像的形成位置附近；以及光检测单元，其对透射过光圈的被检光进行检测。
法律状态
法律状态公告日
2012-08-08 2014-01-01 2016-08-24
公开
实质审查的生效 授权
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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