专利名称：硅锭凝固用坩埚及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：C·胡盖特,S·巴伊,V·布里泽申请号：CN201380015883.7申请日：20130131公开号：CN104185696A公开日：20141203
摘要：本发明涉及能用于从熔融硅凝固硅锭的坩埚，其特征在于所述坩埚在其内表面上至少部分地涂覆有外层，所述外层是分层堆垛的形式，每个分层具有从5到150μm变化的厚度，并且由下述这样的材料形成，所述材料通过热分解聚硅氮烷和/或聚硅氧烷获得并且在其中结合了尺寸从50nm到200μm变化的无机颗粒。本发明还涉及这种坩埚的制备方法。
申请人：原子能及能源替代委员会
地址：法国巴黎
国籍：FR
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：张力更
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容