专利名称：一种测量晶体高度的装置专利类型：实用新型专利
发明人：何育坤,曾向鑫,万永,肖益波,李忠平,朱红娣申请号：CN201320079914.2申请日：20130221公开号：CN203144556U公开日：20130821
摘要：本实用新型提供了一种测量晶体高度的装置，其既能满足测量晶体高度要求，又能提高测量精度，延长长晶棒的使用寿命。其包括机架，其特征在于：所述机架上设置有直线运动电缸，所述直线运动电缸上设置有施压气缸，所述施压气缸的气缸座紧固于所述直线运动电缸的活塞杆，所述施压气缸的气缸臂的底部紧固连接拉压传感器的上端部，所述拉压传感器的下部紧固连接长晶棒夹持块，所述长晶棒夹持块的侧部嵌装于所述气缸座的直线导轨槽内，所述长晶棒夹持块的夹持端夹装有长晶棒，所述拉压传感器通过数据线连接至电气控制模块，所述直线运动电缸、施压气缸分别通过连接线连接至所述电气控制模块，所述电气控制模块支承于所述机架。
申请人：无锡开日能源科技股份有限公司
地址：214000 江苏省无锡市惠山区智慧路18号智慧大厦
国籍：CN
代理机构：无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)
代理人：杜丹盛
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