专利名称：一种电弧蒸发源专利类型：实用新型专利发明人：宋永宾
申请号：CN201520499219.0申请日：20150710公开号：CN204874720U公开日：20151216
摘要：本实用新型提供了一种电弧蒸发源，包括触发式引弧结构、运动永磁体、引弧针、阴极表面和靶材；所述引弧针位于所述触发式引弧结构的末端，所述触发式引弧结构和所述运动永磁体连接，靶材的外表面为阴极表面。本实用新型能够有效抑制电弧点向阴极表面以外的部分转移，靶面刻蚀均匀。
申请人：青岛优百宇真空设备股份有限公司
地址：266000 山东省青岛市四方区嘉定路17号439室
国籍：CN
代理机构：四川君士达律师事务所
代理人：芶忠义
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