专利名称：一种低损耗高温度稳定性的表面声波传感器专利类型：发明专利
发明人：李红浪,程利娜,何世堂申请号：CN200910082665.0申请日：20090423公开号：CN101644611A公开日：20100210
摘要：本发明提供一种低损耗高温度稳定性的表面声波传感器，包括：压电基片、沉积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜。所述压电基片为兼具高机电耦合系数、高温度稳定性的晶体材料，该压电基片采用硅酸镓镧、钽酸镓镧、铌酸镓镧、磷酸镓、SrTaGaSiO、SrNbGaSiO、CaTaGaSiO、CaNbGaSiO以及SrGaGeO和四硼酸锂。输入叉指换能器在压电基片中激发声波并传播，输出叉指换能器用于接收声波，当加载的被测物与敏感膜发生反应后会导致声波的特性发生变化，通过检测这些变化而得到关于被测物的特性结论。本发明从结构方面改善传感器性能，实现实用的低损耗、高温度稳定性的表面声波传感器。
申请人：中国科学院声学研究所
地址：100190 北京市海淀区北四环西路21号中国科学院声学研究所
国籍：CN
代理机构：北京法思腾知识产权代理有限公司
代理人：杨小蓉
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