专利名称：具有药剂回收系统的光刻胶涂布机专利类型：实用新型专利
发明人：徐飞,彭建中,李亚明,高广修,吴昌龙,张良申请号：CN201621238260.3申请日：20161118公开号：CN206470532U公开日：20170905
摘要：本实用新型是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀‑气动阀结构连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。优点：增加回收系统，提高药剂使用率，节省材料消耗，节省费用，降低公司成本。
申请人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
地址：210033 江苏省南京市栖霞区仙林大道科技南路南京液晶谷
国籍：CN
代理机构：南京君陶专利商标代理有限公司
代理人：沈根水
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