专利名称：一种含高铁酸盐的碳化硅抛光液及其制备方法和应
用
专利类型：发明专利发明人：孙韬,陈腾飞,张泽芳申请号：CN202010570937.8申请日：20200622公开号：CN111748285A公开日：20201009
摘要：本发明公开了一种含高铁酸盐的碳化硅抛光液，所述碳化硅抛光液由研磨剂颗粒、高铁酸盐、双氧水、硝酸和去离子水组成，且所述碳化硅抛光液pH值为1～7。本发明的碳化硅抛光液，具有切削率高，表面质量稳定，循环使用寿命长的优点，尤其适用于难加工的含硅表面的超精密光学器件或半导体功率器件的表面抛光。本发明还公开了一种含高铁酸盐的碳化硅抛光液的制备方法和应用。
申请人：宁波日晟新材料有限公司,上海工程技术大学
地址：315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
国籍：CN
代理机构：宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：李小伟
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