专利名称：运送系统专利类型：发明专利
发明人：北原徹,北川和树,小野村敦申请号：CN201010131695.9申请日：20100227公开号：CN102020114A公开日：20110420
摘要：本发明提供一种能够提高效率的运送系统。其技术方案包括：控制装置(7)根据第1拍摄装置(5)所拍摄的拍摄数据确认被拾取夹具下一次吸附的电子元件的位置，移动固定晶圆框架(W)的固定部，使电子元件位于拾取夹具的吸附端。由此，可以不设置用于矫正姿态的工序或处理装置，因此，能够缩短处理时间。另外，由于能够不用夹住电子元件地矫正姿态，因此，能够防止电子元件的破损，能够防止由清理破损的电子元件所引起的效率低下。
申请人：株式会社泰塞克
地址：日本东京东大和市上北台3丁目391番地1(207-0023)
国籍：JP
代理机构：北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人：申健
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