专利名称：组合式吸附剂除去氟化物的方法专利类型：发明专利发明人：沈秋
申请号：CN201510488807.9申请日：20150811公开号：CN105169881A公开日：20151223
摘要：本发明公开了一种组合式吸附剂除去氟化物的方法，包括下列步骤：将气体送入除湿器除湿，使气体含水量不超过0.8wt％；将除湿后的气体送入吸附装置进行吸附，吸附装置含有串联设置的两种类型吸附剂，第一吸附剂为比表面积为2000m/g以上活性炭，第二吸附剂为膨润土活性吸附剂。本发明的处理方法适用于处理半导体或光电产业的干蚀刻工艺及化学气相沉积(CVD)设备所排放的含有氟化合物的气体，此外，本发明的处理方法及活性吸附剂也并非仅限用于半导体或光电产业。本发明的工艺具有较高的氟去除率，工艺简单高效。
申请人：无锡桥阳机械制造有限公司
地址：214000 江苏省无锡市惠山区洛社镇人民路南312国道口
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：张海英
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